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高纯石英质量的ICP检测技术初步研究
  • 期刊名称：2012年全国矿物科学与工程学术研讨会论文集
  • 时间：0
  • 页码：116-117
  • 分类：P57[天文地球—矿物学;天文地球—地质学]
  • 作者机构：成都理工大学材料与化学化工学院, 成都理工大学金刚石薄膜研究所
  • 相关基金：国家公益性行业科研专项经费项目课题(201011005-5);国家自然科学基金(批准号:50974025);国家教育部高等学校博士点基金(20095122110015);国家人事部留学人员科技活动择优基金(川人社函[2010]32号)
  • 相关项目：基于中国白云母类矿物制备新型绝缘灌注胶的基础研究
作者： 王艳|汪灵|李彩侠|段炯然|夏瑾卓|
关键词： 高纯石英, 检测效果, 测试结果, 反应时间, 质量, 试剂, 石英玻璃, 集成电路, 微量杂质, 消解
中文摘要：

高纯石英(high-purity quartz)是指w(SiO2)≥99.9%～99.999%(3N至5N)、w(Fe)【10×10-6的石英(汪灵等,2011),它是晶硅、石英玻璃和集成电路基板材料等生产的重要原料,在新能源和新材料等战略性新兴产业具有重要的地位和作用(汪灵等,2011;雷清普等,

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