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A MicroPirani pressure sensor based on the tungsten microhotplate in a standard CMOS process
  • ISSN号：0278-0046
  • 期刊名称：IEEE Transactions on Industrial Electronics
  • 时间：0
  • 页码：1086-1091
  • 语言：英文
  • 相关项目：硅微传声器和微气压传感器及其阵列集成芯片系统研究
作者： Li, Jinfeng|Wang, Jiaqi|Zhang, Fengtian|Tang, Zhenan|
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