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Monolithic integrated CMOS thermal vacuum sensor
  • ISSN号：0253-4177
  • 期刊名称：半导体学报
  • 时间：0
  • 页码：1103-1107
  • 语言：中文
  • 相关项目：硅微传声器和微气压传感器及其阵列集成芯片系统研究
作者： Yu, Jun|Zhang, Fengtian|Tang, Zhen'an|Wang, Jiaqi|
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期刊论文 36 会议论文 5
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