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HMDSO/H2等离子体化学气相沉积非
  • 期刊名称：真空科学技术学报, 26(4), (2006)326
  • 时间：0
  • 相关项目：（类）金刚石薄膜特征表面制造与机理研究
作者： 颜官超，丁斯晔，朱晓东*，周海
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期刊论文 17
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