位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
大气压等离子体制备二氧化硅薄膜
  • 期刊名称：真空科学技术学报, 25, 293 (2005)
  • 时间：0
  • 相关项目：（类）金刚石薄膜特征表面制造与机理研究
作者： 程诚, 方鹏，朱晓东*，耿松，詹
同期刊论文项目
（类）金刚石薄膜特征表面制造与机理研究
期刊论文 17
同项目期刊论文
Bias-induced structural evolut
SiC formation through interfac
热丝辅助双偏压氢等离子体制造金刚石锥状表面研究
热丝辅助双偏压氢等离子体制造金
Coupling effect of electron cy
Carbon cone arrays by double-b
Buckling instability in amorph
HMDSO/H2等离子体化学气相沉积非
Effect of substrate facets on
Role of duty ratio in the diam
CVD金刚石在辐射探测领域中的应
AFM Investigation on surface e
热丝助进氢等离子体中电子及活性粒子输运过程的蒙特卡罗模拟
HMDSO／H2等离子体化学气相沉积非晶包覆纳米α-SiC薄膜的实验研究
SiC Formation Through Interface Reaction between C60 and Si in Plasma Environment
Role of Duty Ratio in Diamond Growth by Pulsed DC-Bias Enhanced Hot Filament Chemical Vapour Deposition