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热丝辅助双偏压氢等离子体制造金
  • 期刊名称：物理学报， 在出版，2008年第4期，
  • 时间：0
  • 相关项目：（类）金刚石薄膜特征表面制造与机理研究
作者： 孟亮，张杰，朱晓东*，温晓辉，
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（类）金刚石薄膜特征表面制造与机理研究
期刊论文 17
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