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LEC法GaAs单晶生长中热应力分布
  • 期刊名称：材料科学与工程，第23卷，第4 期，2005。
  • 时间：0
  • 相关项目：新型单晶硅生长炉内热质输运研究及工程应用
作者： 刘春梅，李明伟
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