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表面张力温度系数对硅单晶生长的
  • 期刊名称:材料研究学报,第19卷,第3期,395-400,2005年。(EI收录号:05379360646)
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  • 相关项目:新型单晶硅生长炉内热质输运研究及工程应用
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