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轴向磁场对硅单晶生长过程的影响
  • 期刊名称:材料研究学报,第19卷,第4期,2005年,249-254。(EI收录号:05299225735)
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  • 相关项目:新型单晶硅生长炉内热质输运研究及工程应用
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