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Selective etching characteristics of the AgInSbTe phase-change film in laser thermal lithography
  • ISSN号:0947-8396
  • 期刊名称:Applied Physics A-Materials Science & Processi
  • 时间:2012.4
  • 页码:221-225
  • 相关项目:相变信息存储材料的快速相变机制和策略研究
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