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Si-based multielement thin films prepared by r.f.reactive sputtering at room temperature
  • 期刊名称：J.Mater.Sci.Teclmol.
  • 时间：0
  • 页码：1999,15.4,385
  • 语言：英文
  • 相关项目：宽带隙半导体薄膜欧姆接触特性和机理研究
作者： 吴现成,王印月|
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宽带隙半导体薄膜欧姆接触特性和机理研究
期刊论文 9
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