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反应溅射a-SiCxNy:HRM薄膜特性
  • 期刊名称：物理学报
  • 时间：0
  • 页码：1999,48.1,134-139
  • 语言：中文
  • 相关项目：宽带隙半导体薄膜欧姆接触特性和机理研究
作者： 吴现成,王印月|
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宽带隙半导体薄膜欧姆接触特性和机理研究
期刊论文 9
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