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氩离子轰击对SP-a-SiC膜退火形成6H-SiC的影响
  • 期刊名称：半导体学报
  • 时间：0
  • 页码：1998,19.8,569-573
  • 语言：中文
  • 相关项目：宽带隙半导体薄膜欧姆接触特性和机理研究
作者： 王辉耀,王印月|
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宽带隙半导体薄膜欧姆接触特性和机理研究
期刊论文 9
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