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模具钢表面阵列微结构蚀刻工艺的实验研究
  • ISSN号：1002-6495
  • 期刊名称：腐蚀科学与防护技术
  • 时间：2014
  • 页码：194-196
  • 分类：TG172[金属学及工艺—金属表面处理;金属学及工艺—金属学]
  • 作者机构：[1]广东工业大学机电工程学院,广州510006
  • 相关基金：国家自然科学基金重点项目（12ZK0160）,国家青年科学基金项目（51205066）,广东省自然科学基金项目（s2012010009022）和教育部博士点基金项目（20114420120002）资助
  • 相关项目：变截面多线螺旋电极微细电解加工微热管内表面非连续微结构研究
作者： 黄红光|郭钟宁|王冠|宋卿|
关键词： 蚀刻深度, 蚀刻压力, 蚀刻间隙
中文摘要：

通过喷淋蚀刻实验研究了模具钢微细蚀刻加工时，工件掩膜间隙、蚀刻液喷淋压力和加工时间对蚀刻深度的影响。蚀刻深度随掩膜问隙的蚀刻尺寸、加工时间的增加而增大，随蚀刻液喷淋压力的增大呈先增大后减小趋势。这归因于掩膜间隙和蚀刻液喷淋压力的增大加快了蚀刻液的更新，使蚀刻反应充分并有利于反应杂质的排除。但是过大的喷淋压力减小了蚀刻液驻留时间，阻碍了蚀刻深度的增加。

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期刊信息
  • 《腐蚀科学与防护技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院金属研究所
  • 主编：王福会
  • 地址：沈阳市文化路72号中国科学院金属研究所
  • 邮编：110016
  • 邮箱：cspt@imr.ac.cn
  • 电话：024-23971819
  • 国际标准刊号：ISSN：1002-6495
  • 国内统一刊号：ISSN：21-1264/TQ
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 中国自然科学核心期刊,中国科技论文统计用刊,入编中国科学引文索引
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:9973