变截面多线螺旋电极微细电解加工微热管内表面非连续微结构研究-东篱科研大数据发现系统（DRDS）

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变截面多线螺旋电极微细电解加工微热管内表面非连续微结构研究

项目名称：变截面多线螺旋电极微细电解加工微热管内表面非连续微结构研究
项目类别：青年科学基金项目
批准号：51205066
申请代码：E050902
项目来源：国家自然科学基金
研究期限：2013-01-01-2015-12-31

项目负责人：王冠
依托单位：广东工业大学
批准年度：2012

中文摘要：

内表面具有大量非连续强化传热微结构的微热管因传热性能突出而成为新型微电子器件散热的关键零件。针对微热管内表面非连续微结构加工中的技术难题，本项目提出基于变截面多线螺旋电极的微细电解加工新方法，可以对此类微结构进行低成本、高效率、高表面质量的加工。项目拟采用理论分析、数值模拟和实验验证相结合的方法，对微细电解加工过程中的科学技术问题开展深入研究，重点探讨（1）变截面多线螺旋电极电解加工流场设计；（2）物理/化学场作用下非连续微结构的成形机理；（3）电极结构参数优化及高定域性加工技术研究；（4）电解加工工艺参数对非连续微结构尺寸形状的影响规律。项目的研究将为高传热性能微热管制造提供理论指导，进而为研制出更高性能的微电子器件奠定技术基础。

中文主题词：微细电解加工；非连续微结构；微热管；变截面多线螺旋电极；

结论摘要：

英文主题词electrochemical micromachining；non-continuous surface texture；heat pipe；tapered mult-line spral electrode；

成果综合统计