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模具钢喷淋微细蚀刻的侧蚀研究
  • ISSN号：1002-6495
  • 期刊名称：腐蚀科学与防护技术
  • 时间：2014
  • 页码：289-291
  • 分类：TG66[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
  • 作者机构：[1]广东工业大学机电学院
  • 相关基金：国家自然科学基金重点项目(U1134003),国家自然科学基金青年基金项目(51205066);广东省自然科学基金项目(s2012010009022);教育部博士点基金项目(201144201 20002)资助
  • 相关项目：变截面多线螺旋电极微细电解加工微热管内表面非连续微结构研究
作者： 于兆勤|王冠|郭钟宁|黄红光|
关键词： 微细蚀刻, 侧蚀, 间隙尺寸, 喷淋压力
中文摘要：

对掩膜处理的模具钢进行喷淋微细蚀刻,观测表面微观结构,分析掩膜间隙尺寸、喷淋压力对侧蚀量的影响。实验表明,随着掩膜间隙尺寸的增大,侧蚀量增大,这是因为微结构凹坑内部蚀刻液的滞留和对O2阻碍作用,造成了不同部位蚀刻速率不同,发生侧蚀;喷淋压力增大也导致侧蚀量增加,因为较大压力下蚀刻液的侧向蚀除力大,侧向蚀除作用强,同时蚀刻液更新频率快,反应速率提高,侧蚀增大。在微细蚀刻加工中合理地选择掩膜间隙尺寸,控制加工时间和喷淋压力,可以较好地控制侧蚀,保证较高的加工尺寸精度。

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期刊信息
  • 《腐蚀科学与防护技术》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学院
  • 主办单位:中国科学院金属研究所
  • 主编：王福会
  • 地址：沈阳市文化路72号中国科学院金属研究所
  • 邮编：110016
  • 邮箱：cspt@imr.ac.cn
  • 电话：024-23971819
  • 国际标准刊号：ISSN：1002-6495
  • 国内统一刊号：ISSN：21-1264/TQ
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 中国自然科学核心期刊,中国科技论文统计用刊,入编中国科学引文索引
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘（网络版）,荷兰文摘与引文数据库,美国剑桥科学文摘,英国科学文摘数据库,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊（2004版）,中国北大核心期刊（2008版）,中国北大核心期刊（2011版）,中国北大核心期刊（2014版）,中国北大核心期刊（2000版）
  • 被引量:9973