位置：成果数据库 > 期刊 > 期刊详情页
A silicon directly bonded capacitive absolute pressure sensor
  • 时间：0
  • 相关项目：多功能单片集成传感微系统设计方法及相关技术基础研究
同期刊论文项目
多功能单片集成传感微系统设计方法及相关技术基础研究
期刊论文 40 会议论文 6 著作 1
同项目期刊论文
单片集成MEMS电容式压力 传感器接口电路设计
多壁碳纳米管湿敏元件的研究
一种基于C8051F330 的二维风速风向传感器微系统
一种新型硅压阻式流速流向传感器的设计
Flip-Chip Packaging for a Two-Dimensional Thermal Flow Sensor Using a Copper Pillar Bump Technology
一种基于MEMS 工艺的二维风速传感器的设计3
MEMS 电容式压力传感器片上接口电路测试分析及改进
一种单片集成电容式压力传感器的设计、制造和测试
基于磁阻传感器与微处理器的二维磁电子罗盘的设计
利用差频电路实现微电容式传感器检测电路的温漂抑制
PT种子层对微力传感器性能的影响
各向异性腐蚀制备纳米硅尖
Experimental study on the dielectric-deformation behavior of SiO2 in a sandwich structure
A system-level model for a silicon thermal flow sensor
Fabrication and characterization of microcantilever integrated with PZT thin film sensor and actuato
脉冲调制型恒温差风速计控制电路的设计及其温漂特性测试
集成气象芯片中热应力对压力膜影响的有限元分析
一种新型CMOS 电容式绝对压力传感器的设计
叶轮式流量传感器检测电路的设计与调试
梳状谐振式磁场传感器设计
A Novel Capacitive Pressure Sensor
PT/PZT/PT薄膜微力传感器
一种微电容式传感器检测电路的分析与改进
基于ANSYS的CMOS湿度传感器电极设计
Preliminary study of calibration system for PZT thin film micro force sensor
Deposition and sensing properties of PT/PZT/PT thin films for microforce sensors
MEMS 磁场传感器的研究进展
Mechanism analysis of BaTiO3 and polymer QAR composite humidity sensor
铁电薄膜电滞回线测量的快速数值补偿方法研究
低热导率衬底的热风速风向传感器研究
一种基于C8051F330的二维风速风向传感器微系统
采用芯片直接安装技术封装的风速风向传感器
一种新型电容式压力传感器
一种基于MEMS工艺的二维风速传感器的设计
单轴应力下热氧化SiO_2的介电电致伸缩系数研究
MEMS电容式压力传感器片上接口电路测试分析及改进
一种新型CMOS电容式绝对压力传感器的设计
掩模偏转方向对硅尖形状的影响
压电陶瓷管的微位移测量与非线性校正