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基于ANSYS的CMOS湿度传感器电极设计
  • 期刊名称:仪器仪表学报,28 (4) 增刊:14-15, 2007
  • 时间:0
  • 相关项目:多功能单片集成传感微系统设计方法及相关技术基础研究
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