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An optimized process for fabrication of high-aspect-ratio photoresist-derived carbon microelectrode
  • ISSN号:0040-6090
  • 期刊名称:Thin Solid Films
  • 时间:0
  • 页码:2701-2706
  • 语言:英文
  • 相关项目:高深宽比微纳层次结构的仿壁虎毛参数优化设计与制作工艺研究
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