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利用Linnik显微干涉技术测量微结构动态特性
  • ISSN号：1004-6941
  • 期刊名称：《计量与测试技术》
  • 时间：0
  • 分类：TH742[机械工程—光学工程;机械工程—仪器科学与技术;机械工程—精密仪器及机械]
  • 作者机构：[1]华中科技大学机械科学与工程学院 暨南大学电气自动化研究所
  • 相关基金：国家自然科学基金(50775090);; 国家博士后科学基金(No.20070410930);; 国家自然科学基金重点项目(No.50535030);; 新世纪优秀人才支持计划(No.NCET-06-0639)
作者： 谢勇君[1], 史铁林[1], 刘世元[1], 吴健康[1]
关键词： 微结构, Linnik, 显微干涉, 离面运动, 幅频特性
中文摘要：

为了实现微结构的离面运动、幅频特性和谐振频率等动态参数的测量,设计开发了微结构动态测试系统,采用Linnik显微干涉结构,具有放大倍率高和工作距离长的特点。首先,系统利用频闪成像技术、五步相移方法和分割线去包裹算法测量微结构离面运动,然后,再通过扫频技术得到微结构的幅频特性和谐振频率。利用该测试系统对硅微悬臂梁的离面振动和幅频特性进行了测试,实验结果表明:硅微悬臂梁的谐振频率为13.03kHz,离面振动测量重复性误差小于10nm。系统具有较好的测量可重复性和较高的测量精度,能满足微结构动态特性测量对测试系统的性能要求。

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期刊信息
  • 《计量与测试技术》
  • 主管单位:成都市质量技术监督局
  • 主办单位:成都市计量检定测试院
  • 主编：
  • 地址：成都市东风路北二巷5号
  • 邮编：610021
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  • 电话：028-84443962
  • 国际标准刊号：ISSN：1004-6941
  • 国内统一刊号：ISSN：51-1412/TB
  • 邮发代号:62-198
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 被引量:6329