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Improved model-based infrared reflectrometry for measuring deep trench structures
  • ISSN号：1084-7529
  • 期刊名称：Journal of the Optical Society of America A: Optic
  • 时间：0
  • 页码：2327-2335
  • 语言：英文
  • 相关项目：高深宽比微纳层次结构的仿壁虎毛参数优化设计与制作工艺研究
作者： Shi, Tielin|Tang, Zirong|Liu, Shiyuan|Zhang, Chuanwei|
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