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Low Reflectivity ErAlO Film on Si as Anti-reflecting Coating in
  • ISSN号:1022-6680
  • 期刊名称:Advanced Materials Research
  • 时间:2011.8.8
  • 页码:75-78
  • 相关项目:非晶Er2O3选择性发射体兼减反射薄膜的物理特性研究
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