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Promoting strain relaxation of Si0.72Ge0.28 film on Si (100) substrate by inserting a low-temperatur
  • ISSN号:0169-4332
  • 期刊名称:Applied Surface Science
  • 时间:0
  • 页码:2660-2664
  • 语言:英文
  • 相关项目:SOI基高速、窄谱带响应长波长Ge光电探测器研究
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