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激光全息法制备二维硅基图形衬底
  • ISSN号：0253-4177
  • 期刊名称：半导体学报
  • 时间：0
  • 页码：1847-1856
  • 语言：中文
  • 相关项目：SOI基高速、窄谱带响应长波长Ge光电探测器研究
作者： 陈松岩|王钰|李成|赖虹凯|周志文|
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SOI基高速、窄谱带响应长波长Ge光电探测器研究
期刊论文 33 会议论文 3 专利 1
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