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Fabrication of Nanopillar Forests with High Infrared Absorptance Based on Rough Poly-Si and Spacer T
  • ISSN号：0960-1317
  • 期刊名称：Journal of Micromechanics and Microengineering
  • 时间：2013.8.28
  • 页码：1-6
  • 相关项目：基于黑硅吸收层的多层组合纳米膜红外探测器及其气体检测技术
作者： Jijun Xiong|Chunjuan You|Qiulin Tan|Dapeng Chen|
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