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区熔对多晶硅薄膜衬底颗粒硅带质
  • 期刊名称：华南理工大学学报.2005(33),28-31
  • 时间：0
  • 相关项目：颗粒硅带衬底上的大晶粒多晶硅薄膜研究
作者： 胡芸菲*,沈辉*,王磊,邹禧武，班
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颗粒硅带衬底上的大晶粒多晶硅薄膜研究
期刊论文 20 会议论文 4 著作 1
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