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HFCVD 系统中衬底温度场及气相空间场的数值分析
  • 期刊名称:人工晶体学报(EI收录)
  • 时间:0
  • 页码:434-439
  • 语言:中文
  • 相关项目:基于陶瓷轴承应用的NCD膜抑晶生长机理及其摩擦学性能研究
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