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PbTe薄膜表面氧化机理研究
  • ISSN号:1672-7126
  • 期刊名称:真空科学与技术学报
  • 时间:0
  • 页码:79-81
  • 语言:中文
  • 分类:TN304.2[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构:[1]浙江大学物理系,杭州310027
  • 相关基金:国家自然科学基金(No.10434090)和教育部博士点基金(No.20060335035)的资助
  • 相关项目:高迁移率ZnO基透明薄膜晶体管研究
中文摘要:

用分子束外延方法在BaF2(111)衬底上生长了PbTe单晶薄膜,原子力显微镜(AFM)的表面形貌表征显示PbTe表面具有单原子层的平整性,并观察到由螺位错形成的螺旋台阶面。高分辨X射线衍射(HRXRD)测量得到PbTe(111)衍射峰的线宽〈100afc sec,表明薄膜具有优良的晶体结构特性。然后将样品暴露于大气环境中3个月后,用X射线光电子谱(XPS)分析了PbTe表面的氧化机理,发现PbTe表面氧化形成了PbO和TeO2,接着将样品在超高真空中加温,同时测量样品表面的Pb、Te、O元素价态、束缚能、含量等参量随温度的变化,发现在温度达到475℃时PbTe样品表面的氧化层已除去,获得了较干净的PbTe表面,为PbTe光电器件工艺提供了实验依据。

英文摘要:

PbTe films were grown by molecular beam epitaxy(MBE) on BaF2(111) substrates. Surface microstructures and surface oxidation were characterized with high resolution X-ray diffraction( HRXRD), atomic force microscopy (AFM), low energy electron spectroscopy(LEED) and X-ray photoelectron spectroscopy(XPS). Helical steps were clearly observed on the fairly smooth, compact PbTe surfaces. After exposure in air for three months, thin layers of PbO and TeO2 were found to exist on top of the films. We found that annealing at a temperature of 475℃ in ultra high vacuum completely removes the oxidized layers from the PbTe film surfaces. Possible mechanisms were also tentatively discussed.

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期刊信息
  • 《真空科学与技术学报》
  • 中国科技核心期刊
  • 主管单位:中国科学技术协会
  • 主办单位:中国真空学会
  • 主编:李德杰
  • 地址:北京朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
  • 邮编:100022
  • 邮箱:cvs@chinesevacuum.com
  • 电话:010-58206280
  • 国际标准刊号:ISSN:1672-7126
  • 国内统一刊号:ISSN:11-5177/TB
  • 邮发代号:
  • 获奖情况:
  • 国内外数据库收录:
  • 美国化学文摘(网络版),荷兰文摘与引文数据库,美国工程索引,日本日本科学技术振兴机构数据库,中国中国科技核心期刊,中国北大核心期刊(2004版),中国北大核心期刊(2008版),中国北大核心期刊(2011版),中国北大核心期刊(2014版),英国英国皇家化学学会文摘,中国北大核心期刊(2000版)
  • 被引量:4421