基于随机前沿模型(sFA),测算了1997--2008年我国30个省级地区高技术产业相对技术效率、全要素生产率增长率。研究表明,我国高技术产业技术效率总体水平不高;区域效率差异显著,东部地区相对技术效率明显高于中、西部地区;样本期间内高技术产业全要素生产率增长率波幅不大,增长趋势尚不明显;全要素生产率增长的根本动因在于技术效率,高技术产业仍不具有规模经济性。