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CIF格式转换到PG3600格式的算法
  • 期刊名称：微电子学, 已录用
  • 时间：0
  • 相关项目：100nm分辨率交替式移相掩模设计中的关键技术研究
作者： 李金儒, 陈宝钦*, 赵珉, 汤跃科
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