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Mechanical properties of tungsten doped amorphous hydrogenated carbon films prepared by tungsten pla
  • ISSN号:0257-8972
  • 期刊名称:Surface & Coatings Technology
  • 时间:0
  • 页码:2612-2616
  • 语言:英文
  • 相关项目:一种等离子体基离子注入/沉积新方法的基本理论和技术研究
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