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氢氧复合注入对SOI-SIMOX埋层结
  • 期刊名称：功能材料与器件学报, 9(1), (2003), P17-20
  • 时间：0
  • 相关项目：低剂量注氧隔离技术氧化埋层形成机理研究
作者： 易万兵*，陈猛，陈静，王湘，刘
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