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注氮剂量对SIMON材料性能影响的
  • 期刊名称：功能材料与器件学报, 10(4), (2004), P437-440
  • 时间：0
  • 相关项目：低剂量注氧隔离技术氧化埋层形成机理研究
作者： 张恩霞*，孙佳胤，易万兵，陈静
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