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High rate deposition of microcrystalline silicon films by high-pressure radio frequency plasma enhan
  • ISSN号:1006-9321
  • 期刊名称:Science in China Series E-Technological Sciences
  • 时间:0
  • 页码:371-375
  • 语言:英文
  • 相关项目:以p型μc-Si为发射极的高效异质结HIT太阳能电池的制备研究与模拟计算
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