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溶胶-凝胶法制备的Pt/Bi_(3.15)Nd_(0.85)Ti_3O_(12)/SrTiO_3/Si电容结构及其性能研究
  • ISSN号：2095-6223
  • 期刊名称：现代应用物理
  • 时间：2014
  • 页码：294-298
  • 分类：TN384[电子电信—物理电子学]
  • 作者机构：[1]湘潭大学材料科学与工程学院,湘潭411105, [2]湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室,湘潭411105
  • 相关基金：国家自然科学基金资助项目（11172257;61176093）
  • 相关项目：辐射环境下铁电场效应晶体管的多变量耦合关系与失效机制
作者： 郭纯维|马颖|燕少安|周益春|
关键词： 溶胶-凝胶法, 金属-铁电层-绝缘层-半导体结构, 钛酸锶薄膜, 钛酸铋钕薄膜, 存储窗口, sol-gel method, MFIS, SrTiO3 thin film, Bi3.15Nd0.85TiaO12 thin film, memorywindow
中文摘要：

采用溶胶-凝胶法制备了Pt/Bi3.15Nd0.85Ti3O12/SrTiO3/Si多层电容即金属-铁电层-绝缘层-半导体结构,并对其电学性能进行了测试与分析。获得的存储窗口电压约为2.5V,漏电流密度低于10-8 A·cm-2,保持时间达7.5h以上。制备的SrTiO3薄膜表现出较高的介电性和较好的绝缘性。

英文摘要：

The metal-ferroelectrie-insulator-semiconductor （MFIS） capacitors of Pt/Bi315 Nd0.85 Ti3 O12/SrTiO3/Si structure are fabricated by sol-gel method, and the electrical properties of the MFIS are also investigated. The memory window of 2.5 V, the low leakage current density of 10 -8 A-cm 2, and a long retention time of over 7.5 h are obtained. It indi- cates that the SrTiO3 thin film as an insulating layer shows a relative good dielectric and insulated property.

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期刊信息
  • 《现代应用物理》
  • 主管单位:西北核技术研究所
  • 主办单位:西北核技术研究所 国防工业出版社
  • 主编：邱爱慈
  • 地址：西安市69信箱15分箱
  • 邮编：710024
  • 邮箱：cjapnint@163.com
  • 电话：029-84767860 84767861
  • 国际标准刊号：ISSN：2095-6223
  • 国内统一刊号：ISSN：61-1491/O4
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  • 国内外数据库收录:
  • 被引量:123