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Optimization of the GaAs-on-Si substrate for MEMS sensor application
  • ISSN号：1996-1944
  • 期刊名称：Materials
  • 时间：2012.12.17
  • 页码：2917-2926
  • 相关项目：硅基III-V族外延量子点RTD隧穿陀螺仪的基础效应研究
作者： Wendong Zhang|Jifang He|Mifeng Li|Ying Yu|
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