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碳离子注入前后硅片的微动磨损行
  • 期刊名称：润滑与密封（已录用）
  • 时间：0
  • 相关项目：离子注入MEMS硅器件表面的微摩擦学性能研究
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离子注入MEMS硅器件表面的微摩擦学性能研究
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