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中文摘要：
本课题主要基于纳米结构的介观压阻效应，研究纳机电双层、多层膜、带、线式声传感器的设计、仿真和建模技术；研究灵敏度和动态范围可控制纳机电结构的设计、仿真和建模技术方法。纳机电声传感器设计和制造；研究纳机电声传感器件的灵敏度、动态特性、环境特性等参数的测试方法研究、实验验证等。微声测量是目前我国目前环境监测、分布式无人战斗单元及战场信息探测装备研制的急需关键器件，由本项目所研制的微声传感器具有检测范围宽、灵敏度和集成度高、低成本的优点，能为环境监测和战场信息探测装备的发展提供强有力的技术支撑。
结论摘要：
NEMS和MEMS结合将能在现有武器装备的更新换代中起到重要作用，可实现未来战场武器装备的体系化、信息化、隐身化、精确制导化与智能化。微声传感器作为战场信息监测设备中必不可少的关键部件，对信号的检测和处理能力的要求不断地提高，对信号的发射和接收效率以及频带宽度等都提出了更高的要求。本课题主要基于纳米结构的介观压阻效应，研究纳机电双层、多层膜、带、线式声传感器的设计、仿真和建模技术；研究灵敏度和动态范围可控制纳机电结构的设计、仿真和建模技术方法。研究纳机电声传感器设计和制造；纳机电声传感器件的灵敏度、动态特性、环境特性等参数的测试方法研究、实验验证等。完成了纳米薄膜、悬臂梁、拍子、桥等多种微结果的加工，通过在中科院声学所试验测试，该声传感器具有响应频率宽（5KHz）、灵敏度线性特性好等特点。由本项目所研制的微声传感器能为环境监测和战场信息探测装备的发展提供强有力的技术支撑。
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