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芯片级高Q值平面环形微腔的制造及非线性光学特性研究
  • 项目名称：芯片级高Q值平面环形微腔的制造及非线性光学特性研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：60778029
  • 申请代码：F050805
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：2008-01-01-2010-12-31
  • 项目负责人：张文栋
  • 负责人职称：教授
  • 依托单位：中北大学
  • 批准年度：2007
中文摘要：

为深入开展微纳尺度光学腔量子电动力学的研究，我们利用锥形光纤与平面环形微腔组成光学耦合系统，并对该耦合系统及平面环形微腔进行了深入分析，尤其对平面环形微腔与锥形光纤耦合参数进行数值模拟，讨论了不同参数对平面环形微腔Q值的影响，并得到了一些有用的实验结果。通过分析耦合系统的参数公式，我们获得了系统的优化参数，并利用MEMS工艺进行光刻、腐蚀，实验上获得了平面圆盘腔阵列，而且利用高功率CO2实现了平面环形微腔的表面优化处理，为深入开展相关研究提供了可能。

中文主题词： 平面环形微腔；品质因子Q；微光机电；微腔传感器
结论摘要：

英文主题词Toroidal Microcavities; The quality factorQ; Micro Electro Mechanical systems ( MEMS ); Microcavity sensor

成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 19
  • 18
  • 6
  • 0
  • 0
期刊论文
Packaged microcavity coupling system for robust thermal sensing application
基于光学微腔的MOEMS微位移传感器
基于平面环形微腔结构的超高灵敏度位移传感器的研究
高Q值环形波导微谐振腔研究进展
高Q平面环形微腔的制备以及测试
芯片级平面环形微腔的品质因数
新型微环谐振器双环模型的滤波特性分析
振动噪声对高Q光学微腔耦合系统的影响及抑制方法
高Q平面环形微腔二氧化碳激光熔融分析
一种基于SOI的集成光波导耦合系统的设计与制备
锥形光纤倏逝场激发微球腔高Q模式
锥型光纤的制备和理论分析
会议论文
Investigation and Analysis of a Novel Resonator for MOEMS Gyroscope
“低损耗双锥光纤的制备与耦合特性研究.
Laser Reflow Technology On High-Q Toroidal Microcavity
A Novel MOEMs Micro-Displacement Sensor Based on Waveguide Micro Ring Resonators
Design of the Miniature Optical Fiber Voltage Sensor
The research of a novel gyroscope based on high Q micro-resonator
平面环形微腔耦合系统的理论分析
Micro sensors based on Planar Microtoroid cavities
A precise measurement of quality factor for Planar Microtoroid Resonators
Water vapor detecting using high-Q microcavity
Design and Modeling of a Novel Micro-displacement Sensor Based Optical Frequency Comb
The Analysis of Microtoroid Cavity Coupling System Based on Fullwave
Fabrication of Planar Microtoroid cavities using high-power laser
星载高灵敏度MOEMS 加速度计设计
芯片级平面环形微腔的表面优化处理研究
锥形光纤的制备和理论分析
Thermal Stress Analysis of the Microtoroid Under co2Laser
Integrated Micro-and Nano Optical Cavities on a Chip for Supersensitive Sensing
专利
掺铒环形微腔激光器
平面环形微腔的制造方法
温度调制光学微腔耦合系统的输出方法及其耦合结构
基于平面环形微腔的悬臂梁式加速度计
基于光子晶体微腔的悬臂梁式加速度计
一种光学微腔耦合系统的封装结构及其封装方法
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第六届国际测试技术研讨会