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高冲击下MEMS惯性探测驱动一体化机构与微观碰撞机理研究
  • 项目名称：高冲击下MEMS惯性探测驱动一体化机构与微观碰撞机理研究
  • 项目类别：面上项目
  • 批准号：51475245
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：聂伟荣
  • 依托单位：南京理工大学
  • 批准年度：2014
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 10
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期刊论文
基于电化学沉积的高深宽比无源MEMS惯性开关的研制
基于电化学刻蚀与微电铸工艺的微流控芯片模具制作
Ni-SiC复合电铸层内应力实验研究
惯性力驱动微尺度下液柱运动模型
可识别载荷方位区间的MEMS万向惯性开关
平面万向双阈值MEMS惯性开关
高冲击下微悬臂梁动态响应特性
含 Z 型闭锁梁的微接电开关闭锁机构
UV-LIGA工艺误差对MEMS万向惯性开关性能的影响
基于柔性止动的MEMS惯性开关冲击可靠性强化
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