中文摘要：

低温等离子体在材料领域的应用日益广泛，应用技术的发展又促进了等离子体基本过程和特性的研究。本项目研究对象为ECR微波放电和脉冲激光烧蚀联合作用下所引发的ECR-PLA等离子体，包括ECR-PLA等离子体的时空运动和激发增强以及发生在等离子体中的气相反应，并探索这一等离子体在材料制备上的应用。通过时空分辨和积分的等离子体光谱测量考察了ECR-PLA等离子体的时空运动，用等离子体光谱分析识别等离子体成分，并结合时空分辨测量、光谱拟合和温度估算，考察了等离子体及其成分的空间分布和时间演变，进而研究了等离子体的激发特性和发生在等离子体中的气相反应。研究结果表明高速膨胀的瞬变PLA等离子体和稳定均匀的ECR等离子体间的相互作用使得ECR等离子体不再保持其稳定均匀性；PLA等离子体和ECR等离子体彼此间的相互激发导致ECR-PLA等离子体的激发增强，使得其激发程度和活性远远高于ECR等离子体和PLA等离子体；高活性的ECR-PLA等离子体中的活性粒子之间易于发生高速率的气相反应；性能独特的ECR-PLA等离子体在材料制备上具有独到的效果。在项目执行期间已取得发表SCI论文11篇及其它研究成果。