中文摘要：

伏特效应型微型同位素电池的原理与太阳能电池相似，是一种以半导体为基体、长寿命、高能量密度的新型电池，为解决MEMS等微型器件的动力及整合问题提供了新的途径。而利用具有三维结构的、高深宽比的多孔硅结器件阵列，制成多孔硅同位素电池，能有效地提高电池的工作效率。在多孔硅电池的研制过程中发现存在严重的氧化问题，故本项目提出以下措施加以解决，并提高多孔硅的储氚性能采取新的刻蚀液制备低氧的多孔硅，并优化制备工艺参数；增加多孔硅的保存、干燥工艺，并与其他制备工艺衔接；利用高压渗氚技术对多孔硅进行氚（氢）化，寻找影响多孔硅储氚性能的结构参数；在此基础上，完善整套多孔硅同位素电池制备的规划及工艺技术。

结论摘要：

伏特效应型微型同位素电池的原理与太阳能电池相似，是一种以半导体为基体、长寿命、高能量密度的新型电池，为解决MEMS等微型器件的动力及整合问题提供了新的途径。而利用具有三维结构的、高深宽比的多孔硅结器件阵列，制成多孔硅同位素电池，能有效地提高电池的工作效率。在多孔硅电池的研制过程中发现存在严重的氧化问题，故本项目针对应用于同位素电池的多孔硅阵列在制备、保存等过程中的氧化问题开展研究，以期望提高多孔硅的储氚性能通过对制备工艺参数（如刻蚀液配方、配比、电流密度等）的优化来优化多孔硅结构；分析不同条件下制备的多孔硅的氢氧含量和键合情况，优化工艺制备参数；在此基础上，完善整套多孔硅同位素电池制备的规划及工艺技术。