本项目拟采用金属有机化学气相淀积方法与缓冲层技术在蓝宝石衬底上生长出高质量的氧化锌单晶材料和高质量的组分可调的镁锌氧三元半导体材料、探索氧化锌基结构材料的原位掺杂机制,研究氧化锌基结构材料的微结构性质与光电性质。研究该结构材料在光电器件中的应用并研制出紫外探测器原型器件。该项目对新型光电功能材料及器件研究具有重要意义。
英文主题词ZnO, MOCVD, Ultra-violet detector,lighting emitting diode