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LiTaO3/Si结构的智能剥离(Smart-cut)研究
  • 项目名称：LiTaO3/Si结构的智能剥离(Smart-cut)研究
  • 项目类别：重大研究计划
  • 批准号：90101012
  • 项目来源：国家自然科学基金
  • 研究期限：1900-01-01-1900-01-01
  • 项目负责人：林成鲁
  • 依托单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
  • 批准年度：2001
成果综合统计
成果类型
数量
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利
  • 获奖
  • 著作
  • 2
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期刊论文
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