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基于体绘制技术的虚拟光刻系统建模与实现
  • 所属机构名称：南开大学
  • 会议名称：第26届中国控制会议(ISTP、EI收录)
  • 成果类型：会议
  • 会场：张家界
  • 相关项目：MEMS设计自动化关键技术与系统研究
作者： 赵新|卢桂章|王俊伟|张启程|孙广毅|金纯|
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MEMS设计自动化关键技术与系统研究
期刊论文 10 会议论文 14 专利 1 著作 1
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