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Virtual Operation of MEMS Devices Based on FEM Simulation
  • 所属机构名称：南开大学
  • 会议名称：Proceedings of the 2nd IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems
  • 成果类型：会议
  • 会场：Bangkok
  • 相关项目：MEMS设计自动化关键技术与系统研究
作者： Kai Wang|Guizhang Lu|Xin Zhao|Lei Wang,|
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MEMS设计自动化关键技术与系统研究
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