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静电梳齿驱动微夹钳的设计、制造和测试
  • 所属机构名称：南开大学
  • 会议名称：中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
  • 成果类型：会议
  • 会场：哈尔滨
  • 相关项目：MEMS设计自动化关键技术与系统研究
作者： 车秀阁|赵新|倪绍辉|
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MEMS设计自动化关键技术与系统研究
期刊论文 10 会议论文 14 专利 1 著作 1
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