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A novel design methodology for MEMS device
  • 所属机构名称：南开大学
  • 会议名称：7th IEEE Conference on Nanotechnology, IEEE-NANO 2007
  • 成果类型：会议
  • 相关项目：MEMS设计自动化关键技术与系统研究
作者： Guizhang Lu|Lei Wang|Xin Zhao|Yiyong Tan|Guangyi Sun|
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MEMS设计自动化关键技术与系统研究
期刊论文 10 会议论文 14 专利 1 著作 1
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