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Bandgap engineering and HfAlO deposition control for trapping layer
  • 所属机构名称:中国科学院微电子研究所
  • 会议名称:2013 China Semiconductor Technology International Conference
  • 时间:2013.3.18
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:面向三维集成的纳米尺度电荷陷阱存储器机理与可靠性研究
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