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Visualization on Charge Distribution Behavior in Thickness-Scalable HfO2 Trapping Layer by In-situ E
  • 所属机构名称:中国科学院微电子研究所
  • 会议名称:International memory workshop (IMW 2013)
  • 时间:2013.5.21
  • 成果类型:会议
  • 相关项目:面向三维集成的纳米尺度电荷陷阱存储器机理与可靠性研究
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